在清洗过程中，通常采用超声清洗，通过超声波在液体中产生的空化效应来实现清洗。具体来说，超声波发生器将电能转换为高频机械振动，产生一系列高频（通常在 20kHz 至 40kHz）的声波。这些声波通过换能器传递到清洗槽中的清洗液中，使清洗液中的微小气泡迅速膨胀并瞬间破灭，从而产生强烈的冲击力和冲刷作用。

此外，半导体晶圆槽式清洗机还可以配备加热系统、过滤系统、循环系统等辅助设备，以进一步提高清洗效果和工作效率。